XY精密滑台

Awooe-XY精密滑台是一个集成XY线性电机位移台，旨在消除单个X级和Y级的集成，并提高系统的动态应用刚度。它的特点是行程范围为 100mm，X轴和Y轴之间具有精确的正交对准，是精密工业应用的理想解决方案，X/Y重复定位±0.5μm、定位精度（含补偿）±0.5μm、直线度3μm、最大速度 X/Y:150mm/s

片库

尺寸：332*356*765
特征要点：
·支持4inch/5inch/6inch/8inch/12inch Cassette
·Cassette加载检测
·整体洁净度等级优于ISO Class4
·Mapping姿态检测最小支持300μm厚度
·晶圆交接重复性精度≤7μm
·运行速度最大150mm/s
·停电或紧急停止安全原位保持
·维护MTTR≤30分钟
·支持SEMI标准

版库

尺寸：321*298*437
特征要点：
·支持6吋单槽和6槽位光罩盒
·光罩盒和盒盖检测
·掩膜Mapping检测
·自动完成光罩盒开解锁
·支持RFID扫读和数据上报
·支持掩膜二维码扫读和数据上报
·掩膜交接重复性精度≤40μm
·整体洁净度等级优于ISO Class4
·支持SEMI标准